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簡要描述:韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀型號:NV-1800/NV-2400/NV-2700
韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀
型號:NV-1800/NV-2400/NV-2700
高精度非接觸式表面形貌檢測
無損3D表面輪廓分析
宜用平臺提供快速、高效的工藝流程的監(jiān)控
全面、直觀的軟件提供了式樣和應(yīng)用靈活性
主要功能
3D形貌測量
高,深,間隔(從納米級到5mm)
粗糙度(R參數(shù))表面(S參數(shù))
面積信息(體積,面積)
2D測量
NanoView可靠性在許多應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)揮性能。
NanoView 提供完整的表面形貌納米測量和分析技術(shù)方案。
NV-Serise技術(shù)參數(shù)
型號
NV-1800
NV-2400
NV-2700
測量原理
非接觸三維 白光掃描干涉法(WSI)/移相干涉法(PSI)
現(xiàn)場放大鏡
1.0×(標配)
物鏡
單鏡頭
可選5個鏡頭(手動鼻輪)
可選5個鏡頭(自動鼻輪)
光源
白光LED光源
掃描方式
閉環(huán)控制壓電促動掃描方式
縱向掃描范圍
Max 270um(可拓展到:5mm)
縱向掃描速度
≤12um/sec(1X~5X倍率可選)
傾斜
±3°(樣品臺傾斜)
頭部傾斜±5°(手動模式)
頭部傾斜±5°(自動模式)
縱向分辨率
WSI:<0.5nm / PSI:<0.1nm
橫向分辨率
0.2~4um(取決于物鏡/視場放大鏡倍率)
臺階重復(fù)性
<0.5%(1s)
XY樣品臺行程
140×140mm(手動)
230×230mm(自動)
50×50mm(手動)
100×100mm(手動)
100×100mm(自動)
Z軸行程
30mm(手動)
100mm(手動)
100mm(自動)
環(huán)境要求
溫度:15~30℃,溫度變化量:<1℃/15min
濕度:<60%,無凝結(jié)
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